化学镀膜最早用于在E光学元件表面制备保护限， 在1817年，Fraunhofer在德国用浓硫酸或硝酸侵蚀玻璃，偶然广泛的应用。而目前大家公认，次获得减反射膜， 但该我术当时并改有得到的开始年代是1835璃银镜的发明。在此之后，20世纪相地发明↓年德国化学家利比格手工涂镀坡镀膜方法。

　　1935 年美国的Strong和德国的Smakula,几乎同时发明在真空下将氟化钙蒸发和凝结到玻璃表面上的方法，制成制成单层减反射涂层。1942 年美国的Lyon用沉积到预先加热的玻璃上的方法，制备出第一个稳定的和耐磨的单层减反射涂层，第二次世界大战后，这种材料和沉积技术亦变成了标准工艺。

　　1938年美国研制多层诚反射涂层， 不久在欧洲也取得了成功。但是.对多层系统达到技术上完美的解决，是1949年首先由Awarter获得的这种被称为"Transmax”的优质减反射双层涂层，此产品一出现立即供不应求。1965年宽带三层减反射系统研制成功，那时借助于现代电子计算机，已能较容易而快速地设计出膜系统。

　　高反射涂层的工业研制早于减反射涂层，利用高反射金属膜可以使玻璃的反射率显著提高。1835 年以前，已用化学湿选法沉积出银镜膜。1912 年Pohl和Pring-sheim首先尝试了在真空条件下，用各种金属的蒸发和凝结来沉积镜面膜，他们用陶瓷坩埚作为蒸发源。1928 年Ritsch也蒸发出银镜。1933年Strong找到了一种既简单又富有成效的蒸发铝的技术，他用铝加在螺旋形成的钨丝蒸发器上，这种技术目前仍经常使用。用铝蒸发技术制镜在各方面都优于银，在可见光范围，铝的反射率差不多与银相同，但在紫外区却比银高得多，铝与玻璃的黏附强于银，而且当暴露在大气中时不失去光泽。